,找到这些凸起的粒子,接下来针对这些凸起粒子的凸起量,莪们就可以用离子束轰击这些凸起的粒子,然后将我们的镜片给‘敲’平。”
“这样一来,我们的镜片就能变得无比地平整起来。”ωωw.Bǐqυgétν.℃ǒM
听到林晓的想法,罗刚宪便忍不住说道:“这……这应该做不到吧?激光干涉仪得到的表面的粗糙度数据,我们只能进行统计,但是还无法具体去判断要怎么用离子束去轰击啊!而且,硅原子半径都经到100多皮米了,直径等于两百多皮米,而我们需要的是100皮米以下的级别,如果是离子轰击,直接把表面原子给轰击掉了,留下的可能就是一个一百多皮米的坑,这样还是达不到光刻机镜片的要求!”
林晓说的确实是一个很好的方法,但这是从理论上来说,他作为专业的,心中完全不相信这一点能够做到。
林晓只是笑了笑,说道:“我可没有说要把这些凸起的粒子给轰掉啊,罗院士。”
“我说的是‘敲平’!”
“我们只需要就算好轰击角,控制住水平和垂直上的分力,我们完全可以实现其表面的平坦化。”
“而且,我们所谓的原子半径,其实只是原子轨道半径而已,在受力范围上,它们可不是一个球,用离子束去轰击,也只是他们之间的电磁力罢了。”
“以前的离子抛光技术,使用的是氩等离子体,在轰击的时候,我们考虑其电荷量,就能够实现了。”
听到这,罗刚宪顿时感到不可思议,这么说的话,似乎真的可行?
但是经过片刻的思考后,微微摇头道:“这做不到吧,这在数学上无法实现!你怎么计算出轰击角?”
林晓却是一笑:“只是一道数学问题而已,我最不怕的就是数学问题。”
“这……”
罗刚宪话语一滞。
只是一道数学问题?
而已?
他不知道怎么说了,但是看着林晓的样子,他却找不到继续质疑的理由。
似乎,真的可以这么做?
如果他们能够计算出离子束轰击角,似乎确实完全有可能将那些粒子给“敲”进去?
其实,这就类似于一种离子抛光技术,只不过相比较那些比较常见的离子抛光技术,他们的这个技术对精细度要求的高了一点点。
而解决这个问题,最重要的可不就是数学问题?
想到这,他看着已经走到了椭圆