而后，每台光刻机操作台前都站着一名人员，则按下了电脑主机的启动键，而后，负责控制整台光刻机的电脑，便启动了。

系统采用的是linux系统，桌面上什么都没有，只有一个软件。

软件名叫【X光计划光刻机控制面板】。

这个软件，便是X光计划软件组搞出来的，可以说，从X光计划开始之后，他们便一直都在写这样一个软件。ъìＱυＧΕtＶ.℃ǒΜ

这个控制面板就相当于他们X光刻机的操作系统了，软件并不复杂，但是里面的代码，就相当的复杂了。

光刻机本身的硬件能否达标，是保证光刻机性能的关键，而软件，就关系到能否正常发挥出性能的作用了，当然，即使把软件给做出来了，也得会用软件，否则的话都是白搭。

像华芯国际和台积电都买了阿斯麦尔的DUV光刻机，但是台积电能够做到用DUV光刻机生产7nm芯片的技术，而华芯国际却只能做到14nm，便是因为不能很好地运用软件。

当然，在使用软件之前，他们也得先保证眼前这个软件是能够正常工作的。

首先点开软件，经过了一番缓慢地加载后，终于，进入了软件的首页面，全中文操作界面，不包含一个英文字母。

而这时，林晓也走到了其中一台光刻机操作台前，指挥道：“先对整台光刻机进行一遍系统自检。”

“是！”

负责操作这台光刻机的工作人员立即应道，随后便进入了控制面板-系统界面，点击了系统自检。

既然是自检，那自然是检测一下内部每个零部件能否正常运行，当然最关键的，还是检测一下这些机械运行的精度能否达标，以及X光源能否正常激发，并且能否正常被RDX纯硅晶体镜规律衍射等。

经过片刻的加载后，显示器上便出现了进度条，这是自检开始了，不过，光刻机内部依然安静，不像其他机器一样，一运作起来就有各种噪声。

因为，有声音，就说明有震动，而对于光刻机来说，哪怕是一点震动都是致命的，所以光刻机里面一切机械，都基本上做到了无摩擦，像双工作台也都是利用磁悬浮的方式来避免发生震动，当然，双工作台也算是光刻机核心机械中唯二会动的了，然后就是控制透镜的机械臂也会动，其他的核心零部件基本都不会动，变数越多，越难控制。

就这样，时间慢慢过去了，所有人都沉声凝气，或者是面露紧张之色，等待着结果的出现，甚